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최신 설비를 구축하고 고객 여러분의 수요에 따라 고품질 타겟을 공급합니다.
또한 디바이스 개발 시, 재료 부문에서의 시행 착오를 통해 축적한 귀금속 재료의 기술을 구사하여 재료를 설계합니다.
또한 당사의 위탁 성막 기능을 이용하여 고객 여러분의 기판에 새로운 재료를 탑재할 수 있으며 장치설치까지의 기간동안 막 있는 기판을 공급할 수 있어서, 고객 여러분의 개발 속도를 높여드립니다.

■ 후루야 금속의 고품질 타겟
후루야 금속은 다양한 귀금속 재료를 타겟으로 제공합니다.

Ir 대형, 균일 결정입 융점 : 2,443℃ 비교저항:5.1×10-2μΩm 내열 및 내산화에 뛰어난 재료입니다. 유전체 전극에 사용됩니다.	Ru 고밀도, 저산소 융점 : 2,254℃ 비교저항7.7×10-2μΩm 특수한 자기특성을 가지는 재료입니다. 하드디스크의 AFC＆시드층에 사용됩니다.	Au 비교저항 : 2.2×10-2μΩm 내산화 안정성에 매우 뛰어난 저저항 재료입니다. 전극 재료로 사용됩니다.
Pt 융점 : 1,772℃ 비교저항:10.5×10-2μΩm 안정성에 뛰어난 재료입니다. 내열 전극에 사용됩니다.	Pd 융점 : 1,552℃ 비교저항:10.8×10-2μΩm 촉매 기능을 가지고 있습니다. 내열 전극에 사용됩니다.	Rh 대형/균일 결정입 융점 : 1,966℃ 비교저항:4.7?10-2μΩm 안정성에 뛰어난 저저항 재료입니다. 자기 헤드에 사용됩니다.
AgPdCu alloy 비교저항3.9×10-2μΩm 순Ag의 저저항, 고반사를 유지하며 환경내성을 향상시킨 Ag 합금입니다. LCD나 OEL의 반사전극에 사용되고 있습니다.	AgPdCu alloy(APC)타겟에 대하여

■ 타겟 회수 과정
타겟 회수 과정은 여기를 참조하여 주십시오.

■ 귀금속 박막의 주요 용도

반도체	게이트 전극막, 배리어 메탈막
광박막	반사막, 반사방지막, 보호막
플랫 패널	반사막, 전극막, 배선막
하드 디스크 광 디스크	자화교환막, 시드막, 반사막, 자성막, 경질피막, 전극막
그 외 고기능막	이형막, 경질피막, 각종 고신뢰성 전극막

■ Pt,Ir,Ru,Pd,Rh,Au,Ag,Ag 합금
다른 금속에 없는 특수한 성질을 가지는 귀금속은, 하이테크 분야에서 빠져서는 안 되는 재료입니다. 당사에서는 남아프리카의 계약광산에서 보낸 고순도 귀금속을 플라즈마로 용해하고 더욱 고순도화시켜 임의의 형상으로 가공하고 있습니다. 특정 불순물을 제외하는 작업에 대해서도 상담 받습니다.

■ 제품 규격의 예

재질	순도	최대 치수(실적)	제법
Pt	3N5,4N,5N	Φ400×5.0(t)mm	용해
Ir	3N5,4N	Φ350×6.0(t)mm	용해
Au	3N5,4N,5N	Φ400×5.5(t)mm	용해
Ru	3N5,4N	Φ345mm	용해,소결
Rh	3N5,4N	Φ345mm	용해

＊특수형상도 대응 가능합니다.
＊패킹 플레이트나 본딩도 각종 가공 가능합니다.

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