확산로나 CVD 장치의 내부 온도를 측정하는 열전대입니다. 3점식, 5점식 등 한 번에 다점 측정을할 수 있는 것이 특징이며 측정 위치, 개수 등은 희망에 따라 대응 가능합니다.
■ 보상도선
최근에는 컴퓨터를 통한 프로세스 제어를 비롯한 계측 제어 발달로 인하여, 온도 측정 및 제어에 대한 중요성이 높아지고 있습니다. 그러한 가운데 보상 도선은 열전대와 온도 지시계 접속에 사용되며, 열전대 단자의 온도 변화에 따라 일어나는 오차를 보상하는 것이어서 그 중요성이 재인식되고 있습니다. 이러한 흐름 속에서 더욱 높은 정밀도를 가진 제품을 제공하고 있습니다.
각 제품의 상세한 내용은 니노미야 전선공업 주식회사 홈페이지에서 확인하실 수 있습니다.
| 재질 | 상용온도 ℃ | 최고상용온도 ℃ | 특성 |
|---|---|---|---|
| 석영유리 | 1000 | 1100 | 서멀 쇼크에 강하며 알칼리에 약함 |
| 실리콘 카바이트 | 1650 | － | 열전도, 내식성 큼, 산화기 중 1650℃까지 사용 가능 |
＊ 상용 온도, 최고 사용 온도는 분위기에 따라 다릅니다.
＊ 그 밖의 보호관도 다루고 있습니다.
| 종류 | 기호 | 사용 온도(℃) |
|---|---|---|
| 졀연관 특종 | PS0 | 1600 |
| 자기보호관 1종 | PS1 | 1500 |
| 자기보호관 2종 | PS2 | 1400 |
＊ 사용 온도란 공기 속에서 장시간 사용에 견딜 수 있는 온도입니다.
■ 단자
＊ 단자는 열전대와 같은 재질을 사용하기 때문에, 접속에 따른 온도 오차가 발생하지 않습니다.
＊ 그 밖의 단자도 다루고 있습니다.
